真空熱處理工藝中，冷卻是完成熱處理工藝目地的關鍵全過程，為維持工件在真空熱處理全過程中的優質特點，冷卻劑和冷卻加工工藝的挑選和制訂是十分關鍵的，真空熱處理廠則廣泛選用油冷冷卻及其氣冷冷卻的這二種方式。

油冷是一種特性價錢較為高的一種冷卻方法。在真空泵標準下，冷卻油的冷卻能力比在正常大氣壓下需要低，這關鍵是由于工件表面蒸氣膜增厚，危害了冷卻油的冷卻能力，而真空泵淬火油的不斷完善，促使其冷卻抗壓強度伴隨著油表面氣體壓強降低而減少的水平比一般淬火油要小的多。而且能夠 根據沖進汽體調節油表面氣體壓強而調節淬火油的冷卻抗壓強度，在確保工件淬透的前提條件下，應用盡量低的冷卻速率，降低工件的地應力和形變。
汽體冷卻則能夠 更強的維持真空泵加溫的工件優良的表面情況、減少真空熱處理機器設備中液體冷卻劑所占有的室內空間，簡單化真空泵熱處理實際操作加工工藝。真氣體淬關鍵考慮到的是其冷速，它與汽體的類型、空氣壓力、汽體水流量及其加溫設備的構造相關。